韩国工业通商资源部修订《高压气体安全管理法施行令》实施细则，将 EUV 光刻机纳入“特定设备”管理，简化导入流程。技术审查和竣工核验分别由原先的 15 天和 7 天压缩至各 2 天，取消需要海外认可机构进行的中间压力与泄漏检验，使总耗时由原来的 34 天缩短至 9 天，节省约 25 天，同时避免每台约 5 亿韩元（约 224.8 万元人民币）的检验费用，修订将在公布后立即实施。
6 月 2 日消息，韩国产业通商资源部今日宣布，该国《高压气体安全管理法施行令》的实施细则修订案在国务会议上表决通过，将在下周公布后立即实施。此次细则调整简化了 EUV 光刻机设备的导入流程。
EUV 机台内置高压气体管道和装置，按韩国现行规范属于“高压气体制造设备”，每次安装时必须进行技术审查和检查。而根据新修订案，EUV 光刻机被视为一种“特定设备”，部分环节可缩短或省略。
根据原版流程，EUV 光刻机需要首先经历 15 日的技术审查、5 天的许可、7 天的中间检查，完成后还需要 7 天的竣工核验，总计 34 天；而新流程中将技术审查和竣工核验均压缩至 2 天，还取消了中间检查步骤，用时缩短至 9 天，可节省 25 天时间。
此外，中间检查环节需要由海外认可的检验机构进行压力和泄漏检验，每台设备的费用约为 5 亿韩元（IT之家注：现汇率约合 224.8 万元人民币）。流程调整后企业也能节省这一笔开支。