台积电揭示 A13、预告 A12 尖端逻辑制程工艺,均将于 2029 年量产

台积电在2026北美技术论坛披露多项尖端与演进制程:A13为对A14的直接光学收缩,设计规则完全兼容并节省约6%面积,同时通过设计与技术协同带来额外的能效与性能提升;A12为A16之后的新一代Super Power Rail背面供电工艺,面向AI/HPC应用,二者均计划于2029年量产。公司还公布2nm平台演进N2U(较N2P提速3–4%或降功耗8–10%,逻辑密度提升2–3%,预计2028年量产)及首款采用GAA的车规制程N2A(同功耗下较N3A提速15–20%,预计2028年完成AEC-Q100验证)。在成熟节点方面,台积电将高压技术引入FinFET,推出面向DDIC的N16HV,相较N28HV栅极密度提升约41%、功耗降低约35%。

4 月 23 日消息,台积电 (TSMC) 美国当地时间 22 日举行了 2026 年北美技术论坛,其中在尖端逻辑制程方面该企业揭示了 A14 后的 A13、A12 尖端工艺,这两项技术均将于 2029 年量产。

A13 是对 A14 的直接光学收缩,在设计规则与 A14 完全向后兼容的同时节省了 6% 的面积。此外其通过设计与技术协同优化,提供了额外的能效及性能提升。

A12 是台积电在 A16 后的新一代的超级电轨 (Super Power Rail) 背面供电工艺,面向 AI / HPC 应用场景。

▲ 图源:台积电

台积电还宣布了 2nm 平台的演进版本 N2U,其速度较 N2P 提升 3-4% 或功耗降低 8-10% ,逻辑密度提升 2-3%,预计于 2028 年开始生产。一并推出的还有首款采用 GAA 的车用制程技术 N2A,其在相同功耗下速度较今年投产的 N3A 提升 15-20%,预计于 2028 年完成 AEC-Q100 验证。

在相对成熟的逻辑工艺方面,台积电今年将率先将高压技术引入 FinFET 晶体管技术,带来面向 DDIC 的 N16HV 制程技术。这项工艺相较 N28HV 栅极密度增加 41%,功耗降低 35%。

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